VOPT锛圴irtual Optical Proximity Correction锛夋槸涓�绉嶇敤浜庡崐瀵间綋鍒堕�犲拰鍏夊埢鎶�鏈�鐨勫叧閿�鎶�鏈�锛屽叾鐩�鐨勫湪浜庢敼鍠勫井鐢靛瓙鍣ㄤ欢鐨勭敓浜ц繃绋嬨�傞殢鐫�闆嗘垚鐢佃矾鐨勪笉鏂�缂╁皬锛屼互鍙婃妧鏈�鑺傜偣鐨勬棩鐩婂噺灏戯紝浼犵粺鐨勫厜鍒绘妧鏈�宸叉棤娉曟弧瓒抽珮绮惧害銆侀珮鍒嗚鲸鐜囩殑瑕佹眰銆傚洜姝わ紝VOPT搴旇繍鑰岀敓锛屾垚涓烘彁楂樺厜鍒诲浘褰㈣川閲忓拰闄嶄綆鐢熶骇缂洪櫡鐨勯噸瑕佹墜娈点��
### VOPT鐨勫熀鏈�姒傚康
VOPT 鏄�涓�绉嶅熀浜庝豢鐪熺殑鍏夊�﹁繎浼间慨姝ｆ妧鏈�銆傚叾鏍稿績鎬濇兂鏄�鍒╃敤鍏夊�︽ā鍨嬪�瑰厜鍒昏繃绋嬭繘琛岄�勬祴锛屽苟閫氳繃璁＄畻鏈烘ā鎷熸潵淇�姝ｈ�捐�″浘妗堬紝浠ヨˉ鍋垮洜鍏夊�︽晥搴斿�艰嚧鐨勫浘褰㈠け鐪熴�俈OPT鍦ㄥ厜鍒昏繃绋嬩腑涓昏�佽�冭檻浜嗗厜鐨勮�嶅皠銆佸共娑夊拰浼犳挱绛夌幇璞★紝浠庤�屽湪璁捐�″眰闈�涓婅繘琛屼紭鍖栵紝浣垮緱鏈�缁堝湪鏅跺渾涓婃垚鍍忕殑鍥惧舰鑳藉�熷敖鍙�鑳芥帴杩戣�捐�¤�佹眰銆�
### VOPT鐨勫伐浣滃師鐞�
VOPT鐨勫伐浣滄祦绋嬮�氬父鍖呮嫭浠ヤ笅鍑犱釜姝ラ�わ細
1. **妯″瀷寤虹珛**锛氶�栧厛锛岄�氳繃浣跨敤鐗╃悊鍜屽厜瀛︾悊璁烘瀯寤哄厜鍒昏繃绋嬬殑鏁板�︽ā鍨嬨�傝繖涓�妯″瀷闇�瑕佸噯纭�妯℃嫙鍏夋簮銆佹帺妯°�佸厜鍒昏兌鍜屾櫠鍦嗕箣闂寸殑鐩镐簰浣滅敤銆�
2. **浠跨湡璁＄畻**锛氬�熷姪璁＄畻鏈鸿繘琛屽厜瀛︿豢鐪燂紝瀵硅�捐�″浘妗堣繘琛屾ā鎷熴�傞�氳繃璁＄畻鍏夊湪涓嶅悓鏉′欢涓嬬殑浼犳挱鍜屾垚鍍忥紝璇嗗埆鍑烘綔鍦ㄧ殑澶辩湡鍜岀己闄枫��
3. **鍥惧舰淇�姝�**锛氭牴鎹�浠跨湡缁撴灉锛屽�瑰師濮嬭�捐�″浘妗堣繘琛岄�傚綋璋冩暣锛屼粠鑰屼紭鍖栧浘褰㈠湪瀹為檯鏇濆厜涓�鐨勮〃鐜般�傝繖涓�杩囩▼鍖呮嫭瀵瑰浘褰㈢殑褰㈢姸銆佸ぇ灏忓強闂磋窛绛夎繘琛屾敼鍔�锛屼互渚垮湪鍏夊埢杩囩▼涓�鑾峰緱鏇撮珮鐨勭簿搴︺��
4. **楠岃瘉鍜岃凯浠�**锛氬湪淇�姝ｅ悗锛屽啀娆¤繘琛屼豢鐪燂紝浠ラ獙璇佷慨姝ｆ晥鏋溿�傚�傛灉浠嶇劧瀛樺湪闂�棰橈紝鍒欑户缁�璋冩暣锛岀洿鑷虫弧瓒宠�佹眰銆�
### VOPT鐨勪紭鍔�
1. **鎻愰珮鎴愬搧鐜�**锛氶�氳繃瀵硅�捐�″浘妗堢殑淇�姝ｏ紝VOPT鑳藉�熸湁鏁堝噺灏戝洜鍏夊�︽晥搴斿�艰嚧鐨勭己闄凤紝浠庤�屾彁楂樻垚鍝佺巼銆�
2. **鎻愬崌鍥惧舰鍒嗚鲸鐜�**锛歏OPT鍙�浠ュ府鍔╁疄鐜版洿灏忕殑鐗瑰緛灏哄�革紝浣垮緱鑺�鐗囩殑闆嗘垚搴﹀拰鎬ц兘寰楀埌鎻愬崌銆�
3. **鑺傜渷鎴愭湰**锛氬敖绠″紩鍏ヤ簡棰濆�栫殑璁＄畻鍜屼豢鐪熸�ラ�わ紝浣嗛�氳繃鎻愰珮鎴愬搧鐜囧拰鍑忓皯鍔犲伐澶辫触锛孷OPT鑳藉�熷湪鏁翠綋涓婇檷浣庣敓浜ф垚鏈�銆�
4. **閫傚簲澶氱�嶅伐鑹�**锛歏OPT涓嶄粎闄愪簬鏌愪竴鐗瑰畾鐨勫伐鑹烘垨鎶�鏈�鑺傜偣锛岃兘澶熺伒娲婚�傚簲涓嶅悓鐨勭敓浜ч渶姹傦紝浣垮叾骞挎硾搴旂敤浜庡悇绫诲崐瀵间綋鍒堕�犳祦绋嬨��
### VOPT鍦ㄨ�屼笟涓�鐨勫簲鐢�
VOPT宸茬粡鍦ㄥ綋鍓嶇殑澶у�氭暟鍗婂�间綋鍒堕�犲巶鍟嗕腑寰楀埌搴旂敤锛屽挨鍏舵槸鍦�7nm鍙婁互涓嬪伐鑹鸿妭鐐圭殑鐢熶骇涓�銆傞殢鐫�鎶�鏈�鐨勪笉鏂�杩涙�ワ紝瓒婃潵瓒婂�氱殑鍏�鍙稿紑濮嬮噸瑙哣OPT鎶�鏈�鐨勭爺绌跺拰寮�鍙戙��
鍦ㄥ疄闄呭簲鐢ㄤ腑锛孷OPT鍙�浠ヤ笌鍏朵粬鍏堣繘鐨勫厜鍒绘妧鏈�锛堝�侲UV锛夌粨鍚堜娇鐢�锛屼互鑾峰彇鏇村ソ鐨勬�ц兘銆備緥濡傦紝鍦‥UV鍏夊埢涓�锛岀敱浜庡厜婧愮殑娉㈤暱鏇寸煭锛屽厜瀛︽晥搴旀洿鍔犳樉钁楋紝VOPT鐨勪綔鐢ㄥ彉寰楀挨涓洪噸瑕併�傛�ゅ�栵紝VOPT杩樺彲浠ヨ��缁撳悎鍦ㄨ�捐�￠獙璇佸伐鍏蜂腑锛屼綔涓哄埗閫犲彲鍒堕�犳�э紙DFM锛夌殑涓�閮ㄥ垎锛屽府鍔╄�捐�″洟闃熷湪鏃╂湡闃舵�佃瘑鍒�鍜岀籂姝ｅ彲鑳界殑鍔犲伐闂�棰樸��
### 鏈�鏉ュ彂灞曟柟鍚�
闅忕潃鍗婂�间綋鎶�鏈�鐨勪笉鏂�婕旇繘锛孷OPT鐨勭爺绌跺拰搴旂敤涔熼潰涓存柊鐨勬寫鎴樺拰鏈洪亣銆備竴鏂归潰锛岄殢鐫�鐗瑰緛灏哄�哥殑杩涗竴姝ョ缉灏忥紝鍏夊�︽晥搴斿皢鏇村姞澶嶆潅锛屼娇寰梀OPT妯″瀷鐨勭簿纭�鎬у拰鏁堢巼闇�涓嶆柇鎻愬崌銆傚彟涓�鏂归潰锛屾柊鐨勫埗閫犳妧鏈�锛堝��3D闆嗘垚鐢佃矾鍙婇噺瀛愮偣绛夛級鐨勫彂灞曚篃灏嗛┍鍔╒OPT涓庢柊鎶�鏈�鐨勭粨鍚堬紝鎺㈢储鏇村�氱殑鍙�鑳芥�с��
姝ゅ�栵紝浜哄伐鏅鸿兘鍜屾満鍣ㄥ�︿範鎶�鏈�鐨勫紩鍏ワ紝鍙�鑳戒細涓篤OPT鐨勫彂灞曞甫鏉ラ潻鍛芥�х殑鍙樺寲銆傞�氳繃鍒╃敤澶ф暟鎹�鍒嗘瀽鍜屾ā鍨嬭��缁冿紝AI鍙�浠ユ洿蹇�閫熷湴璇嗗埆鍑洪棶棰樺苟寤鸿��鐩稿簲鐨勪慨姝ｇ瓥鐣ワ紝浠庤�屾帹杩沄OPT鐨勬櫤鑳藉寲鍙戝睍銆�
### 缁撹��
鎬荤殑鏉ヨ�达紝VOPT鍦ㄧ幇浠ｅ崐瀵间綋鍒堕�犱腑鍙戞尌鐫�涓嶅彲鎴栫己鐨勪綔鐢ㄣ�傚畠閫氳繃瀵瑰厜瀛﹁繎浼艰繘琛屼慨姝ｏ紝鏄捐憲鎻愰珮浜嗗井鐢靛瓙鍣ㄤ欢鐨勭敓浜ц壇鐜囧拰璐ㄩ噺銆傞殢鐫�鎶�鏈�鐨勮繘姝ワ紝VOPT灏嗙户缁�婕斿彉骞堕�傚簲鏂扮殑甯傚満闇�姹傦紝鎺ㄥ姩鍗婂�间綋琛屼笟鍚戞洿楂樼殑绮惧害鍜屾晥鐜囧彂灞曘�傚湪鏈�鏉ョ殑鍏夊埢宸ヨ壓涓�锛孷OPT鏃犵枒灏嗕細鏄�閲嶈�佺殑鎶�鏈�鏀�鏌变箣涓�銆�